影響光柵尺測量精度的因素：

　　A：光學部分  B：機械部分  C：電氣部分  D：使用中的安裝與傳輸接收部分，使用后的精度下降，機械部分自身的偏差。

　　A、光學部分對精度的影響：

　　光柵玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻線數、刻線精度、刻線寬度一致性等。

　　光發射源—光的平行與一致性、光衰減。

　　光接收單元—讀取誤差、讀取響應。

　　光學系統使用后的影響—污染，衰減。

　　B、機械部分對精度的影響：

　　安裝精度。軸承的精度與結構精度。光學組建安裝的精度。

　　例如，就軸承的結構而言，單軸承支撐結構的軸承偏差無法消除，而且經使用后偏差會更大，而雙軸承結構或多支承結構，可有效降低單個軸承的偏差。

　　C、電氣部分對精度的影響：

　　電源的穩定精度—對光發射源與接收單元的影響。

　　讀取響應與電氣處理電路帶來的誤差；

　　電氣噪音影響，取決于光柵尺電氣系統的抗干擾能力；

　　例如，如果電子細分，也會帶來的誤差，按照德國海德漢提供的介紹，海德

　　漢光柵尺的細分電氣誤差與正余弦曲線誤差會有一個很小的差異。

　　D

　　光柵尺使用中帶來的精度影響：

　　輸出電纜的抗干擾與信號延遲（較長距離或較快頻率下）；

　　接收設備的響應與接收設備內部處理可能的誤差。

　　光柵尺高速位移時的動態響應偏差。

　　最常見的就是我們自己使用安裝的方法與安裝結果帶來的偏差。

　　綜上所述，光柵尺的分辨率和精度其實是兩個完全不同的概念，但是二者有關聯，高分辨率可以得到高的測量精度，但不是高分辨率一定能得到高的測量精度。在同等條件下，理論上高分辨率光柵尺一定可以得到高的測量精度。